Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD)
การพัฒนาระบบควบคุมลำอิเล็กตรอนเพื่อการสร้างภาพจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิ
Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)
Development of an electron beam control system for secondary electron signal imaging
Year (A.D.)
2004
Document Type
Thesis
First Advisor
สุวิทย์ ปุณณชัยยะ
Second Advisor
เดโช ทองอร่าม
Faculty/College
Faculty of Engineering (คณะวิศวกรรมศาสตร์)
Degree Name
วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level
ปริญญาโท
Degree Discipline
นิวเคลียร์เทคโนโลยี
DOI
10.58837/CHULA.THE.2004.1268
Abstract
วิทยานิพนธ์นี้วัตถุประสงค์เพื่อพัฒนาระบบควบคุมลำอิเล็กตรอนและระบบสร้างภาพจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิ สำหรับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน เพื่อปรับการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนรุ่น T20 ของบริษัท JEOL ในโหมดโทรทัศน์ดั้งเดิมมาเป็นการสร้างภาพบนจอไมโครคอมพิวเตอร์ งานวิจัยนี้เลือกใช้ไมโครคอนโทรลเลอร์ PIC16F84A สำหรับกำเนิดสัญญาณควบคุมการสแกนลำอิเลกตรอน ให้มีอัตราสแกนตามมาตรฐานระบบโทรทัศน์ 625 เส้น พร้อมทั้งพัฒนาหัววัดสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิแบบเอเวอร์ฮาร์ท ทอร์นเลย์ (Everhart-Thornley) เพื่อกำเนิดสัญญาณภาพและนำไปมองดูเลต (Modulate) กับสัญญาณเจ้าจังหวะในการสร้างสัญญาณภาพคอมโพสิต (Composite video) ส่งผ่านแผ่นวงจรจับสัญญาณภาพ (Video capture card) เข้าสู่ไมโครคอมพิวเตอร์ ผลทดสอบการทำงานของระบบพบว่า สามารถควบคุมการสแกนของลำอิเล็กตรอนบนพื้นผิวตัวอย่าง แสดงภาพจุลทรรศน์อิเล็กตรอนบนจอภาพด้วยความละเอียด 320x240 จุดภาพ โดยความไม่เป็นเชิงเส้นของภาพในแนวแกนนอนและแกนตั้งน้อยกว่า 16.13% และ 21.05% ตามลำดับ ภาพจุลทรรศน์อิเล็กตรอนจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิให้ความคมชัดและความเปรียบต่างภาพทัดเทียมระบบแสดงผลเดิม แต่ยังมีสัญญาณรบกวนในสัญญาณภาพเล็กน้อย อย่างไรก็ตามสามารถใช้เทคนิคการปรับปรุงคุณภาพของสัญญาณภาพเสริมความชัดเจนของภาพได้
Other Abstract (Other language abstract of ETD)
This thesis aimed to develop an electron beam control system and a secondary electron signal imaging system for scanning electron microscope. The systems were applied for upgrading a conventional TV mode of JEOL SEM model T20 to the microcomputer TV-system. The PIC16F84A microcontroller was employed for scanning signal generation at 625 lines standard TV scan rate. The Everhart-Thornley secondary electron detector was also developed to generate a video signal and modulated with synchronized signals to form a composite video signal. The secondary electron image signal was sent to display on a microcomputer monitor via a video capture card. The image resolution of 320x240 pixels was displayed for electron beam scan testing on specimen surface. The image quality of both nonlinear horizontal and vertical scanning were less than 16.13% and 21.05% respectively. The sharpness and the contrast of secondary electron images were compatible to the old version but they have little interference noise in the video signal. However, by using an image processing technique can be improved the image quality of this system.
Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.
Recommended Citation
อติโรจน์ปัญญา, อำไพ, "การพัฒนาระบบควบคุมลำอิเล็กตรอนเพื่อการสร้างภาพจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิ" (2004). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 65320.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/65320