Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD)

การปรับปรุงระบบการวัดในสายการผลิตซีลของการผลิตวงจรรวม

Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)

Measurement system improvement in the seal process of integrated circuit manufacturing

Year (A.D.)

2003

Document Type

Thesis

First Advisor

ดำรงค์ ทวีแสงสกุลไทย

Faculty/College

Faculty of Engineering (คณะวิศวกรรมศาสตร์)

Degree Name

วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต

Degree Level

ปริญญาโท

Degree Discipline

วิศวกรรมอุตสาหการ

DOI

10.58837/CHULA.THE.2003.1447

Abstract

งานวิจัยฉบับนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อวิเคราะห์ถึงความถูกต้องและความแม่นยำของระบบการวัดเพื่อนำไปสู่การปรับปรุงและถูกต้องตามข้อกำหนดของระบบการบริหารคุณภาพ QS9000 ขอบเขตของการวิเคราะห์จะศึกษาวิจัยเครื่องมือวัดที่ใช้ภายในสายการผลิตซีลของบริษัทกรณีศึกษาที่เป็นอุตสาหกรรมการผลิตวงจรรวมเท่านั้น ความถูกต้องของเครื่องมือวัดทุกชนิดก่อนว่าถูกต้องตามเกณฑ์ของระบบ QS9000 ขั้นตอนต่อไปจะศึกษาความแม่นยำของระบบการวัด โดยแบ่งการศึกษาตามลักษณะของข้อมูลในการวัด คือข้อมูลแบบข้อมูลวัด และข้อมูลแบบข้อมูลนับ ผลของการวิจัยในครั้งนี้พบว่าความแปรปรวนของระบบการวัดแบบข้อมูลวัด เนื่องมาจากเครื่องมือวัดที่มีความแม่นยำต่ำเป็นสาเหตุหลัก และสาเหตุอื่นๆ ที่เกิดจากพนักงานผู้วัดมีความรู้และทักษะไม่เพียงพอ การเพิ่มความแม่นยำของเครื่องวัด โดยส่งเสริมการเพิ่มความรู้และทักษะให้กับพนักงานผู้วัด เพื่อขจัดความแปรปรวนของระบบการวัดแบบข้อมูลวัด แต่สำหรับการศึกษาระบบการวัดแบบข้อมูลนับพบว่าความแปรปรวนของระบบการวัดไม่เป็นนัยสำคัญ อย่างไรก็ตามได้จัดทำคู่มือสำหรับการปฏิบัติงานขึ้นมาเพื่อให้พนักงานใช้อ้างอิง หลังจากที่ดำเนินการปรับปรุงตามบทสรุปข้างต้นแล้ว พบว่าค่า % GR&R ของระบบการวัดมีค่าลดลง ซึ่งสามารถสรุปข้อมูลได้ดังนี้ เครื่องมือวัด กล้องโลเพาเวอร์ ไมโครสโคป %GR%R ก่อนการปรับปรุง 88.48 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่ 1 29.35 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่ 2 6.07 เครื่องเอกซเรย์ %GR%R ก่อนการปรับปรุง 30.72 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่ 1 15.24 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่ 2 1.04 เครื่องมือวัด นาฬิกาจับเวลา แบบดิจิตอล %GR%R ก่อนการปรับปรุง 32.61 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่1 3.31 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่2 – เครื่องสมาร์สโคป %GR%R ก่อนการปรับปรุง 14.94 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่1 3.60 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่2 – เครื่องมือวัด เทอร์โมมิเตอร์ แบบดิจิตอล %GR%R ก่อนการปรับปรุง 70.98 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่1 8.17 %GR%R หลังการปรับปรุง ครั้งที่2 –

Other Abstract (Other language abstract of ETD)

The objective of this research is to analyze the accuracy and precision of the measurement system. In order to improve and meet the requirements of QS9000 pertaining the measurement system (MSA). The scope and focused of this case study is only the measurement equipment in seal process of Integrated Circuit (IC) manufacturing company. The first step on this study is to determine the accuracy of all measuring equipment meet the QS9000 requirement. The next step is to study and determine the precision of the measurement system that the measuring data is either the variable or attribute characteristics. The result of this research found that the variation of variable characteristics of measurement system is mainly caused low precision equipment. Another factor is the insufficient skill and knowledge of the measuring operators. Increasing the precision of measuring equipment plus the enhancement of operator' knowledge and skills eliminate the variation on variable characteristic. On the other hand, no variation found on variable characteristics. However, manual of procedure was provided to operators for reference. With the above actions, the percent GR&R has been reduced by below table for reference. Equipment Low Power Microscope %GR%R Before 88.48 %GR%R First Improvement 29.35 %GR%R Second Improvement 6.07. Equipment X-Ray Machine %GR%R Before 30.72 %GR%R First Improvement 15.24 %GR%R Second Improvement 1.04. Equipment Digital Stop Watch %GR%R Before 32.61 %GR%R First Improvement 3.31 %GR%R Second Improvement –. Equipment Smart Scope Machine %GR%R Before 14.94 %GR%R First Improvement 3.60 %GR%R Second Improvement –. Digital Thermometer %GR%R Before 70.98 %GR%R First Improvement 8.17 %GR%R Second Improvement –.

Link to Full Text

Share

COinS