การวัความหนาของชั้นอ๊อกไซด์บนแว่นผลึกซิลิกอน

Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)

Thickness measurement of oxide layer on silicon substrate

Author

อัจฉริยะ โสโน, บัณฑิตวิทยาลัย

Year (A.D.)

1979

Document Type

Thesis

First Advisor

สุทิน เวทย์วัฒนะ

Faculty/College

Graduate School (บัณฑิตวิทยาลัย)

Degree Name

วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต

Degree Level

ปริญญาโท

Degree Discipline

วิศวกรรมไฟฟ้า

DOI

10.58837/CHULA.THE.1979.517

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.

Recommended Citation

โสโน, อัจฉริยะ, "การวัความหนาของชั้นอ๊อกไซด์บนแว่นผลึกซิลิกอน" (1979). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 59032.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/59032