Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD)
การสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ และการประยุกต์ใช้งานในการแอนนีลซิลิกอน
Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)
CO2 laser construction and its application in silicon annealing
Year (A.D.)
1983
Document Type
Thesis
First Advisor
สมศักดิ์ ปัญญาแก้ว
Faculty/College
Graduate School (บัณฑิตวิทยาลัย)
Degree Name
วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level
ปริญญาโท
Degree Discipline
วิศวกรรมไฟฟ้า
DOI
10.58837/CHULA.THE.1983.506
Abstract
วิทยานิพนธ์นี้ประกอบด้วย 2 ส่วน ส่วนแรกได้แก่การสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ เลเซอร์นี้สามารถใช้งานได้ทั้งแบบคลื่นต่อเนื่อง และแบบคิว-สวิทซ์ ซึ่งมีกำลังเอาท์พุท 10 วัตต์ และ 1 กิโลวัตต์ ตามลำดับ ส่วนที่สองได้แก่การนำแสงเลเซอร์ทั้งแบบคลื่นต่อเนื่อง และแบบคิว-สวิทซ์ ไปแอนนีลหัวต่อพี-เอ็น ที่สร้างบนแผ่นซิลิกอน ผลการทดลองพบว่า การแอนนีลด้วยแสงเลเซอร์แบบคิว-สวิทซ์ พลังงานขนาด 2.0-8.0 จูล/ตารางเซนติเมตร ไม่สามารถทำให้การกระจายตัวของอะตอมฟอสฟอรัสที่แพร่ซึมเปลี่ยนแปลงไป แต่สำหรับหัวต่อพี-เอ็น ที่ทำขั้วต่อไฟฟ้าด้วยนิเกิล ความต้านทานอนุกรมจะมีค่าน้อยลงเมื่อแอนนีลด้วยแสงเลเซอร?พลังงานประมาณ 3.0 จูล/ตารางเซนติเมตร และความต้านทานอนุกรมนี้จะลดลงจนมีค่าอิ่มตัวเมื่อแสงเลเซอร์มีพลังงานประมาณ 7.0 จูล/ตารางเซนติเมตร
Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.
Recommended Citation
แดงพวงไพบูลย์, ธานี, "การสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ และการประยุกต์ใช้งานในการแอนนีลซิลิกอน" (1983). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 53069.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/53069