Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD)
ระบบซี-วี ควบคุมโดยคอมพิวเตอร์สำหรับศึกษาสมบัติของรอยต่อกึ่งตัวนำ
Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)
Computerized C-V system for characterizing semiconductor junction
Year (A.D.)
1988
Document Type
Thesis
First Advisor
สมพงศ์ ฉัตราภรณ์
Second Advisor
ขจรยศ อยู่ดี
Faculty/College
Graduate School (บัณฑิตวิทยาลัย)
Degree Name
วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level
ปริญญาโท
Degree Discipline
ฟิสิกส์
DOI
10.58837/CHULA.THE.1988.544
Abstract
ในงานวิจัยนี้ได้สร้างระบบซี-วี ควบคุมโดยคอมพิวเตอร์เพื่อใช้ในการศึกษาการวัดความสัมพันธ์ ความจุ-แรงดันไฟฟ้าของโครงสร้าง MIS ระบบที่สร้างขึ้นเป็นการเชื่อมต่อเครื่องวัดค่าความจุไฟฟ้า (Boonton 72A), เครื่องจ่ายไฟตรงแบบโปรแกรมได้ (Kepco ABC 425M) และเครื่องไมโครคอมพิวเตอร์แอปเปิลทู โดยสร้างส่วนอินเตอร์เฟสขึ้นมา เพื่อให้เป็นระบบเก็บบันทึกข้อมูลอัตโนมัตินอกจากนี้ยยังได้สร้างเครื่องวัดคาบเวลาเมื่อใช้ร่วมกับระบบซี-วี จะทำให้สามารถวัดลักษณะความจุไฟฟ้าเวลาของโครงสร้าง MIS ได้อีกด้วย จากข้อมูล ความจุ-แรงดันไฟฟ้าและความจุไฟฟ้า-เวลา เราสามารถหาปริมาณบ่งชี้ทางไฟฟ้า ได้แก่ ชนิดของพาหะข้างมาก, ปริมาณความเข้มข้นสารเจือปน, โปรไฟล์สารเจือปนและช่วงชีวิตของพาหะข้างน้อย การทดสอบการทำงานของระบบ ซี-วี กระทำโดยการทดลองใช้วัดตัวอย่างมาตรฐาน (อุปกรณ์ MOS มีโครงสร้างเป็นแบบ Al-SiO2-Si) พบว่า ค่าที่วัดได้จากระบบซี-วี มีค่าใกล้เคียงกับข้อมูลของตัวอย่างมาตรฐาน
Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.
Recommended Citation
ศิริโชติ, วิชิต, "ระบบซี-วี ควบคุมโดยคอมพิวเตอร์สำหรับศึกษาสมบัติของรอยต่อกึ่งตัวนำ" (1988). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 45077.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/45077