Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD)
การวัดความหนาของฟิล์มบาง โดยใช้แสงเลเซอร์ฮีเลียมนีออน
Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)
Thickness measurement of thin film by a he-ne laser
Year (A.D.)
1990
Document Type
Thesis
First Advisor
ภิยโย ปันยารชุน
Faculty/College
Graduate School (บัณฑิตวิทยาลัย)
Degree Name
วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level
ปริญญาโท
Degree Discipline
ฟิสิกส์
DOI
10.58837/CHULA.THE.1990.601
Abstract
ได้ทำการวัดความหนาของฟิล์มบางโดยใช้วิธีการแทรกสอดของแสง แสงที่นำมาใช้คือแสง เลเซอร์ฮีเลียมนีออน ซึ่งเป็นแสงเอกรงค์ที่มีความเข้มสูง ในการทำการวัดได้สร้างเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มบาง เครื่องมือนี้จะสามารถสังเกตรั้วของการแทรกสอดของแสง และสามารถวัดระยะระหว่าง ริ้วของแถบมืด (ρ) และระยะของริ้วของแถบมืดที่เปลี่ยนไปจากแนวเดิม (Δρ) จากนั้นสามารถคำนวณหาความหนาของฟิล์มบาง (Δh) และทำการตรวจสอบผลการวัดโดยวิธีการวัดการดูดกลืนของแสง โดยใช้โฟโตทรานซิสเตอร์เป็นตัวตรวจวัด เพื่อหาความสัมพันธ์ระหว่างความหนา h ที่ได้จากวิธีการวัดจากการแทรกสอดกับ In(I/I๐) ซึ่งได้จากการวัดการดูดกลืนของแสง การวิเคราะห์จากกราฟความสัมพันธ์ระหว่างความหนา Δh และ กับ กับ In(I/I๐) มีลักษณะเป็น เส้นตรงซึ่งสอดคล้องกับทฤษฎีการดูดกลืนแสงของฟิล์มบาง แสดงว่าเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มบางโดยใช้ แสงเลเซอร์สีเลียมนีออน สามารถนำไปใช้ในการวัดได้จริง
Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.
Recommended Citation
ธรรมแสง, ไพรัตน์, "การวัดความหนาของฟิล์มบาง โดยใช้แสงเลเซอร์ฮีเลียมนีออน" (1990). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 41377.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/41377