การประยุกต์คุณสมบัติการสั่นของควอทซ์ในการวัดความหนาของฟิล์มบาง

Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)

Application of oscillation property of quartz in thickness monitoring of thin film

Author

พรสันต์ จิตต์แจ้ง, บัณฑิตวิทยาลัย

Year (A.D.)

1989

Document Type

Thesis

First Advisor

ภิยโย ปันยารชุน

Faculty/College

Graduate School (บัณฑิตวิทยาลัย)

Degree Name

วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต

Degree Level

ปริญญาโท

Degree Discipline

ฟิสิกส์

DOI

10.58837/CHULA.THE.1989.541

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.

Recommended Citation

จิตต์แจ้ง, พรสันต์, "การประยุกต์คุณสมบัติการสั่นของควอทซ์ในการวัดความหนาของฟิล์มบาง" (1989). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 42443.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/42443