Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD)
การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิคส์
Other Title (Parallel Title in Other Language of ETD)
Fabrication of alumina for microelectronic uses
Year (A.D.)
1993
Document Type
Thesis
First Advisor
เล็ก อุตตมะศิล
Faculty/College
Graduate School (บัณฑิตวิทยาลัย)
Degree Name
วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level
ปริญญาโท
Degree Discipline
เทคโนโลยีเซรามิก
DOI
10.58837/CHULA.THE.1993.531
Abstract
การศึกษาวิจัยนี้ เป็นการศึกษากรรมวิธีการผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยอะลูมินาชนิดที่มีความบริสุทธิ์สูงถึงร้อยละ 99.32 อนุภาค ส่วนใหญ่มีขนาด 2-6 ไมโครเมตร ใช้แมกนีเซีย เป็นตัวช่วยลดอุณ[ห]ภูมิในการเผา ส่วนตัวช่วยอื่น ๆ เช่น สารช่วยการกระจายลอยตัวใช้แอมโมเนียมโพลีอะคริเลท สารช่วยการยึดเกาะใช้โพลีอะคริเลท เอสเทอร์ เป็นต้น ใช้วิธีการขึ้นรูปด้วยการหล่ออะลูมินาสเลอร์รีบนแผ่นฟิลม์ หรือวิธีการที่เรียกว่าดอกเตอร์เบลด ผลจากการศึกษาทดลองสามารถผลิตชิ้นทดลองได้ขนาดหนา 0.4-1.0 มิลลิเมตร กว้าง และยาวได้ตามต้องการ ขณะที่เป็นผลิตภัณฑ์ดิบ มีความอ่อนนุ่มคล้ายแผ่นยาง สามารถม้วนเก็บในแผ่นฟิลม์ได้ ใช้อุณหภูมิในการเผาสูงสุด 1500 องศาเซลเซียส จากการศึกษาพบว่าคุณสมบัติที่ดีของผลิตภัณฑ์ นอกจากขึ้นอยู่กับอัตราส่วนการผสมและอุณหภูมิในการเผาแล้ว ยังขึ้นอยู่กับรูปร่างและขนาดของอนุภาค พื้นที่ผิว ตลอดจนความหนาแน่นของผลิตภัณฑ์ด้วย ซึ่งได้บรรจุอยู่ในกระบวนการศึกษาทดลองครั้งนี้
Other Abstract (Other language abstract of ETD)
Alumina subst[r]ate for microelectronic used was fabricated from high purity alumina (99.32%,AL₂o₃) of which average grain size was 2-6 {u1D707}{u1D62E} Doping agent, deflocculant and binder were magnesia (Mg O) | ammonium polyacrylate and polyacrylate ester respectively. Doctor Blade's method was employed in the sheeting of the substrate. Free size sheet with thickness 0.4-1.0 mm. were successfully produced. These green sheets were soft like rubber which could be cut and rolled. The highest sintering temperature was 1500℃. It was found that the good sheet properties highly depended on composition, sintering temperature, particle size, surface area and density.
Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-No Derivative Works 4.0 International License.
Recommended Citation
โกสิยพันธ์, สุรศักดิ์, "การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิคส์" (1993). Chulalongkorn University Theses and Dissertations (Chula ETD). 36873.
https://digital.car.chula.ac.th/chulaetd/36873